平板狀氧化鋁在
晶圓研磨中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。以下是對其作用的詳細分析：
一、優(yōu)異的研磨性能
形狀優(yōu)勢：平板狀氧化鋁的晶體形狀為六角平板狀，這種形狀使其在研磨運動中能夠平行于被加工工件（如晶圓）表面，產(chǎn)生滑動的研磨效果。這種研磨方式相較于傳統(tǒng)磨料的滾動研磨，能夠減少工件表面的隨機劃傷，提高研磨質(zhì)量。
耐磨性高：由于研磨壓力均勻分布在平板狀磨粒表面，顆粒破碎減少，耐磨性大幅提高。這有助于提供良好的磨削效率和表面光潔度。
二、適用于高精度研磨
提高研磨去除度：實驗表明，平板狀氧化鋁微粉的研磨去除度可以提高10~20%，能夠?qū)崿F(xiàn)快速研磨和拋光。這對于晶圓等需要高精度加工的材料來說至關(guān)重要。
減少研磨損傷：晶圓研磨過程中的損傷會帶來巨大的成本消耗。
平板狀氧化鋁的結(jié)構(gòu)特別適合減少這類損傷，因此成為半導體晶片研磨的主要選擇之一。
三、廣泛應用與國產(chǎn)替代
應用領(lǐng)域：平板狀氧化鋁不僅適用于硅晶圓，還適用于砷化鎵晶片、磷化銦晶片、鈮酸鋰晶體等半導體晶體的拋光。此外，在玻璃基板、壓電石英晶體、化合物半導體材料、陶瓷材料等領(lǐng)域也有廣泛應用。
